Полное описание

Integrated circuit metrology,inspection,and process control II : материалы временных коллективов / Ed. K. M. Monahan. - Bellingham, Wa : SPIE , 1988. - VIII,458 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.921). - ISBN 0-89252-956-1. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:с.457-458

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.002:658.562(063)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Технический контроль -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ОПТОЭЛЕКТРОНИКА -- ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Monahan, K.M.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/921)

Шифр в сводном ЭК: d49b7807cb266950956531d32793a85d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽