Полное описание

Орешков, М. В. Разработка измерительного комплекса для контроля и исследования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.10 / М. В. Орешков. - 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19 . - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.3.049.771.14-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС -- ПРОИЗВОДСТВО -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар12-10485)

Шифр в сводном ЭК: cd52b26eaf8f01a22c5fdbf490f49dbb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽