Полное описание
> Перевощиков, В. А.
Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках / Перевощиков В.А., Скупов В.Д. - Н. Новгород : Изд-во Нижегор. госун-та, 20 - . - В надзаг.: Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Текст : непосредственный.
Ч. 1. - 2002. - 220 с. : ил. - 500 экз. - ISBN 5-85746-701-2
Библиогр. в конце гл.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.33 | 621.315.592.002:669.046.516 |
Рубрики:
Ионное внедрение
Доп. точки доступа:
Скупов, В.Д.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего -40060448 : ХР (-40060448)
Свободны: ХР (2)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/59205/1)>
Шифр в сводном ЭК: cc58526e94664ebcabd86fef51b81e08
Заказ фрагмента документа ₽