Полное описание

Технология материалов микроэлектроники: от минерального сырья к монокристаллу : учебное пособие / Д. Д. Авров, О. А. Александрова, А. О. Лебедев [и др.] ; Санкт-Петербургский гос. электротехнический ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - СПб. : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2017. - 145 с. : ил. - (Учебное пособие). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 141-142. - 116 экз. - ISBN 978-5-7629-1963-0. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76-03

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Авров, Д.Д.
Александрова, О.А.
Лебедев, А.О.
Мараева, Е.В.
Таиров, Ю.М.
Санкт-Петербургский гос. электротехнический ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-17/45848)

Шифр в сводном ЭК: c669452cf6c32049595e9cca1700bcff

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽