Полное описание

Афонин, С. М. Автоматизация обеспечения микроклимата и технологических процессов в чистых производственных помещениях : материалы к 3-й науч.-техн. конф. "Экология микроэлектроники-90" / С.М.Афонин,В.И.Осокин,А.А.Сазонов;Под ред. А. А. Сазонова. - М. : [б. и.], 1990. - 190 с. : ил. - 360 экз. - Текст : непосредственный.
Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 187-190 (32 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9

Рубрики:
Стерильные помещения

Кл.слова (ненормированные): СТЕРИЛЬНОЕ ПОМЕЩЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Осокин, В.И.
Сазонов, А.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/78576)

Шифр в сводном ЭК: c5eff2fab51e550c93e8236c4caae6ca

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽