Полное описание

Perspectives, science and technologies for novel silicon on insulator devices : proc.of the NATO advanced research workshop on perspectives, science and technologies for novel silicon on insulator devices, Kyiv, 12-15 Oct.1998 / Ed. P. L. Hemment. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1999. - XXI, 344 p. 344 p. : ill. - (NATO ASI(Advanced science institutes)series. Partnership sub-series 3, High technology ; vol.73). - ISBN 0-7923-6116-4. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст. Указ.:с.329-344

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382(063)

Рубрики:
Кремниевые структуры -- Съезды и конференции
Полупроводниковые приборы -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Hemment, P.L.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17841/73)

Шифр в сводном ЭК: c5efd1592a096a846bdf50601a41fee3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽