Полное описание

Обзоры по электронной технике : разговорник / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - Текст : непосредственный.
Вып. 5(1519) : Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме : по дан. отеч. и зарубеж. печати за 1979-1989 гг. / Л.А.Сейдман. - 1990. - 52 с.

Библиогр.: с. 48-52 (83 назв.). Сер. 7, Технология, орг. пр-ва и оборудование

ГРНТИ	УДК
35.23	666.762.93-416
67.15.47	669.017:539.216.2

Рубрики:
Кремний, нитриды, пленки -- Производство
Алюминиевые пленки -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (3)
Свободны: ХР (1)
Экз.Ж90-24463а (ХР) занят;
Экз.Ж90-24463б (ХР) занят;
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/15125/5(1519))

Шифр в сводном ЭК: b6849a5a56e4925d8a105f7639f366c8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽