Полное описание
> Zanghellini, J. Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen / J.Zanghellini,A.El-Kholi,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1998. - 74 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6114). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.71-74
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621-181.4 | |
621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
El-Kholi, A.
Mohr, J.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/6114)>
Шифр в сводном ЭК: b5a4787d8f5bfd37b252a24eaba9a36f
Заказ фрагмента документа ₽