Полное описание

Алфимова, Д. Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д, 2011. - С. 51-55. - Библиогр.: 7 назв.
ГРНТИ 47.13.11

Кл.слова (ненормированные): алюминий -- индий
Аннотация: Рассмотрены основные аспекты техники получения тонкопленочных (Al + In) покрытий методом магнетронного напыления (распыления) и особенности морфологии поверхности, выявленные в экспериментальных исследованиях.
Доп. точки доступа:
Благин, А.В.
Сысоев, И.А.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20111201 : ХРЦ (-20111201)
Свободны: ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -512171-494323)

Шифр в сводном ЭК: b561f4521b19249ba675683088b92623

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽