Полное описание
> Integrated processing for micro and optoelectronics : proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim. - Amsterdam : Elsevier, 1994. - VII,91-374 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering ; vol.25,N 2-4,1994). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.365-370
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002(063) | |
47.33.33 | 621.383.002(063) | |
47.01.13 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Оптоэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Nissim, Y.I.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.25,N 2-4,1994)>
Шифр в сводном ЭК: b15c1165fcc31bbb166eaf8fcc4c3d71
Заказ фрагмента документа ₽