Полное описание

Перевощиков, В. А. Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : монография / В.А.Перевощиков,В.Д.Скупов. - Н. Новгород : Изд-во Нижегор. ун-та, 1992. - 198 c. : ил. - 1000 экз. - ISBN 5-230-04179-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:М-во науки,высш.шк. и техн.политики Рос.Федерации.Библиогр.:с.189-196(134назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.002

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Скупов, В.Д.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-92/9578)

Шифр в сводном ЭК: b0e58b4ef4bc0b2896dcb94e4f88ca4f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽