Полное описание

Скупов, А. В. Моделирование ионно-лучевого легирования гетероструктур "кремний на сапфире" и облучения нейтронами гетероструктур с наноостровками Ge(Si) : 01.04.10 - Физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. В. Скупов. - 2019. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ВЛИЯНИЕ ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ -- ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ -- КРЕМНИЙ-НА-САПФИРЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-7084)

Шифр в сводном ЭК: b0272f51af5efed568a2689dac8c0cc8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽