• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Gao, W. Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing / W. Gao ; SpringerLink (Online service). - London : Springer, 2010. - on-line. - (Springer series in advanced manufacturing ; 0). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4. - ISBN 978-1-84996-254-4. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    81.13.30620.3

    Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ТОЧНАЯ НАНОМЕТРОЛОГИЯ
    Доп. точки доступа:
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 620.3-290238)

    Шифр в сводном ЭК: 9df6fc550301b02a08b53aa0f5e1763e



    Просмотр издания