Полное описание

Берлин, Е. В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - 750 экз. - ISBN 978-5-94836-369-1. - Текст : электронный.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

ГРНТИ	УДК
29.19	539.23
	ББК
	34.65

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЯ -- РЕАКТИВНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКАЯ ПЛЕНКА
Аннотация: Подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Представлено описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых плёнок и их зависимость от параметров процесса нанесения.
Доп. точки доступа:
Сейдман, Л.А.

Перейти к просмотру издания

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-14/56150)
Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : 143405, Московская область, г. Красногорск, ш. Ильинское, д. 1А, помещ. 17,6/ком. 5 (Шифр в БД-источнике (IPRBOOKS): 31877)

Шифр в сводном ЭК: 988fefb14fe510f843a6556a9992201c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания ЭБС IPR SMART