Полное описание

Геллер, Владимир Михайлович. Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения / В. М. Геллер, В. А. Хрусталев. - 2-е изд., перераб. и доп. - Новосибирск : НГТУ, 2011. - 297 с. : ил. - (Монографии НГТУ). - Библиогр.: с. 284-293. - 3000 экз. - ISBN 978-5-7782-1559-7. - Текст : непосредственный.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.384-047.84
	ББК
	32.85
	РУБ
	11.04.04
	11.03.04

Рубрики:
Электронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ПЛАЗМА -- ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Аннотация: Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.
Доп. точки доступа:
Хрусталев, В.А.
Хрусталев, Владимир Александрович

Перейти к просмотру издания

Электронная библиотечная система ZNANIUM

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-11/78889)
Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : 143405, Московская область, г. Красногорск, ш. Ильинское, д. 1А, помещ. 17,6/ком. 5 (Шифр в БД-источнике (IPRBOOKS): 47711)
ЭБС Znanium : 127282, г. Москва, ул. Полярная, д.31В, стр.1 (Шифр в БД-источнике (ZNANIUM): RU\infra-m\znanium\bibl\546565)

Шифр в сводном ЭК: 9713a82694ccaa9db1d6a21d865d9446

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания ЭБС IPR SMART
или
Просмотр издания ЭБС ZNANIUM