Полное описание

Crazzolara, H. Hochauflosende piezoresistive Siliziumsensoren auf der Basis halbleitertechnologischer Standardprozesse : Diss. / H.Crazzolara. - Stuttgart, 1994. - 118 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.107-118

ГРНТИ	УДК
59.37.33	681.586'33(043)

Рубрики:
Датчики давления

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/18756)

Шифр в сводном ЭК: 8c0b23ffd01bc8e21214d375b47c1597

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽