Приложение
для AndroidПолное описание
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.09 | 621.2.049.76-03 | |
| 621.384-022.532-03 | ||
| ББК | ||
| 30.600.3я73 | ||
| 32.844.2я73 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Наноэлектронные устройства -- Материалы
Кл.слова (ненормированные): УЧЕБНИК ДЛЯ ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ
Аннотация: Учебное пособие дает студентам представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию – НТК «НаноФаб-100», приобретенному Тюменским государственным университетом в рамках реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2011 гг.». Пособие имеет целью активизацию у студентов практических навыков по применению пучково-плазменных технологий в микро- и наноэлектронике в соответствии с требованиями ФГОС ВО к содержанию курсов «Физические основы микро- и наносистемной техники», «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий», «Вакуумная техника и технологии», «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем». Предназначено для студентов направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Доп. точки доступа:
Тюменский гос. ун-т. Физ.-технический ин-т
https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=574272
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-16/45380)
ЭБС Университетская библиотека онлайн : 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, стр. 3 (Шифр в БД-источнике (BIBLIO): 574272)
Шифр в сводном ЭК: 8831d02a47520c68a9c68670402b0d4c
Заказ фрагмента документа ₽
Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация