Полное описание
> Burbaum, C. Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik / C.Burbaum,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1991. - 64 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK ; N4859). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем.Библиогр.:с.62-64
ГРНТИ | УДК | |
50.09.37 | 681.586'325 |
Рубрики:
Датчики ускорения
Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК
Доп. точки доступа:
Mohr, J.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4859)>
Шифр в сводном ЭК: 866c70168611052bcb97a1571bd27186
Заказ фрагмента документа ₽