Полное описание

Вяльцев, А. А. Оценка риска технологических процессов микроэлектроники : учебное пособие / А. А. Вяльцев, Е. А. Севрюкова ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2018. - 184 с. : ил. - Библиогр.: с. 177-181 (71 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.93	331.453:621.38
47.13.11	621.38.019.3

Рубрики:
Предприятия электронной промышленности -- Техника безопасности
Предприятия электронной промышленности -- Оборудование -- Надежность

Доп. точки доступа:
Севрюкова, Е.А.
"МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/64895)

Шифр в сводном ЭК: 84bb1c9457294294606c3aa8fd91db76

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽