Полное описание

Нефедов, Д. В. Получение наноразмерных пленочных структур на основе аморфного кремния и его соединений и исследование их свойств : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Д. В. Нефедов. - Саратов, 2008. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(11 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар09-20)

Шифр в сводном ЭК: 829f40d805954de5766eb0c1dd82d173

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽