Полное описание

Сауров, А. Н. Методы самоформирования в микроэлектронике : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Сауров. - М., 1999. - 46 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 39-46(53 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-сф175)

Шифр в сводном ЭК: 7d6b76351d641daae3461b8d4acb5d8c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽