Полное описание

Гашев, Е. А. Повышение эффективности доводки и полирования пластин интегральной оптики : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.02.07 / Е. А. Гашев. - 2018. - 15, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (9 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.37.13	681.7.023.7(043)

Кл.слова (ненормированные): ДОВОДКА -- ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ -- ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ -- ОПТИЧЕСКИЕ ПЛАСТИНЫ -- ПОЛИРОВАНИЕ -- ФИНИШНАЯ АБРАЗИВНАЯ ОБРАБОТКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-8527)

Шифр в сводном ЭК: 767514af6d3fecc3f0fad4551d78e8ff

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽