Полное описание

Алешин, А. Н. Диффузионные процессы в тонкопленочных металлических системах : препринт / А. Н. Алешин, Б. С. Бокштейн, П. В. Куркин. - пос. Черноголовка (Моск. обл.) : [б. и.], 1992. - 47 с. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 38-47 (122 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.793(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
Доп. точки доступа:
Бокштейн, Б.С.
Куркин, П.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-92/11790)

Шифр в сводном ЭК: 760e14b48a6ca820202f789d3165dab5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽