Полное описание

Усов, С. П. Исследование пористых многофункциональных пленок диоксида кремния, модифицированного углеродом : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.04 / С. П. Усов. - 2011. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники

ГРНТИ	УДК
31.17.15	546.28-31.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ -- ПРИМЕСЬ УГЛЕРОДА -- СТРУКТУРА ПЛЕНОК -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Аннотация: Исследование механизма формирования и влияния примеси углерода на структуру пленок диоксида кремния, его электрофизические параметры. Исследование возможности создания элементов электроники на основе пористых слоев диоксида кремния.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-18026)

Шифр в сводном ЭК: 73c9b6c24896ceba8f1afa56d8c5a7b8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽