Полное описание

Нефедов, В. Г. Физико-химические основы микроэлектроники. Свойства тонких пленок : учеб. пособие / В. Г. Нефедов, Ю. С. Кулешов, О. Б. Гусев. - СПб. : [б. и.], 1993. - 50 c. : ил. - 150 экз. - ISBN 5-230-10302-7. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург. гос. акад. аэрокосм. приборостроения. Библиогр.:с.49(5назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника

Доп. точки доступа:
Кулешов, Ю.С.
Гусев, О.Б.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-93/16529)

Шифр в сводном ЭК: 735ed9a4400932ce8830f01ce9bec792

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽