Полное описание

Хрусталев, В. А. Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.09.10 / В. А. Хрусталев. - Новосибирск, 2002. - 32 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 29-32(52 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38.002.5(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-1309)

Шифр в сводном ЭК: 712c80b16319603a6eecaad12a1cbcd5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽