Полное описание

Юрасов, Д. В. Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Д. В. Юрасов. - 2012. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23 . - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- СЕЛЕКТИВНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар12-21716)

Шифр в сводном ЭК: 6e990415240fb6e6f1b2ec617edef6ad

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽