Полное описание

Kurten, H. Selektive Silizium-Niederdruck-Gasphasenepitaxie : Diss. / H.K@:urten. - Aachen, 1991. - II,128 S. S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.119-128

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/17370)

Шифр в сводном ЭК: 6e121e56283ffa9fd5b696cfca931bea

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽