Полное описание

Шипатов, Э. Т. Имплантация ионов в полупроводники : учеб.пособие для вузов / Э.Т.Шипатов. - Ульяновск : [б. и.], 1998. - 199 с. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-88855-020-5. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Ульян.гос.ун-т.Библиогр.:с.196-197 (28 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-98/42621)

Шифр в сводном ЭК: 6cab10e7b8d5fafd16431f59edc0edbd

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽