Полное описание

Сагунова, И. В. Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / И. В. Сагунова. - 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84(043)
	621.3.049.76:620.187(043)

Кл.слова (ненормированные): ДИАГНОСТИКА -- ЛОКАЛЬНОЕ ЗОНДОВОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- СКАНИРУЮЩАЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩАЯ МИКРОСКОПИЯ
Аннотация: Развитие метода локального зондового окисления и сканирующей электропроводящей микроскопии для создания и диагностики наноструктур.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-3291)

Шифр в сводном ЭК: 687667d2f91a6b3a0fcfe5df3da7f264

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽