Полное описание

Воротынцев, В. М. Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / В. М. Воротынцев, В. А. Перевощиков, В. Д. Скупов. - н. новгород : Нижегор. гос. техн. ун-т, 2006 (н. новгород). - 357 с. - Библиогр.: с. 356-357. - 500 экз. - ISBN 5-93272-364-5. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Нижегор. гос. техн. ун-т

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Перевощиков, В.А.
Скупов, В.Д.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/27810)

Шифр в сводном ЭК: 6471103f0c6ac2cca731f619360f496e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽