• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen / P.Wieland,C.D@:upmeier,H.Eggert,K.P.Scherer. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - IX,148 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5597). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.:с.89-95

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76:658.562
    621-181.4

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Технический контроль
    Миниатюрные изделия -- Технический контроль

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
    Доп. точки доступа:
    Wieland, P.
    Dupmeier, C.
    Eggert, H.
    Scherer, K.P.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5597)

    Шифр в сводном ЭК: 63a01961dcc2b49c3de4320db4387e25



    Заказ фрагмента документа ₽