Полное описание

Шибков, А. А. Численное моделирование субмикронных кремниевых приборов и технологических процессов : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / А. А. Шибков. - М., 1996. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Моск.физ.-техн.ин-т. Библиогр.:с. 16-17(6 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.001.57(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-7022)

Шифр в сводном ЭК: 5e364f199495d32a5a8abdc94c7e8a62

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽