Полное описание

Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии : учеб. пособие / Е. С. Горнев [и др.]. - М. : [б. и.], 2012. - 204 с. : ил. - Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7339-0887-8. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики.

ГРНТИ	УДК
90.03	621.3.049.76:006.91
	621-181.4:006.91
	620.3:006.91

Рубрики:
Микроэлектроника -- Метрологическое обеспечение
Микросистемотехника -- Метрологическое обеспечение
Нанотехнологии -- Метрологическое обеспечение

Аннотация: Принципы построения процессов контроля в производстве. методы контроля параметров и свойств в процессе производства интегральных схем (ИС). Оптические методы контроля. Электрофизические методы контроля. Электронно-зондовые и ионные методы контроля. Методы сканирующей зондовой микроскопии. Метрология, контроль и испытания элементов и устройств микросистемной техники. Метрологическое обеспечение наноэлектроники.
Доп. точки доступа:
Горнев, Е.С.
Плотников, Ю.И.
Плотникова, Н.И.
Бокарев, В.П.
Мельников, А.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-12/86503)

Шифр в сводном ЭК: 5c6603d33c457edac9f41216e6ee3906

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽