• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - III,103 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5671). - Текст : непосредственный.
    Рез.англ.Библиогр.:с.100-103

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002
    621-181.4

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Миниатюрные изделия -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
    Доп. точки доступа:
    Both, A.
    Bacher, W.
    Heckele, M.
    Ruprecht, R.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5671)

    Шифр в сводном ЭК: 5b01246114d7772c51c1623d1d162fc9



    Заказ фрагмента документа ₽