Полное описание

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : Бином. Лаб. знаний, 2010 - . - Текст : непосредственный.
Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил. - Библиогр.: с. 386-389 (80 назв.). - 228 экз. - ISBN 978-5-9963-0029-7. - ISBN 978-5-9963-0030-3

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Коркишко, Ю.Н.\ред.\
Райнова, Ю.П.

Имеются экземпляры в отделах: всего -40201652 : ХРЦ (-40201652)
Свободны: ХРЦ (2)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/65936/1)

Шифр в сводном ЭК: 567f6c23eac0c7208020d205b622b3df

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽