Полное описание

Grundmann, D. UV-stimuliertes Wachstum von III-V-Halbleiterschichten im Niedrigdruck-MOCVD-System : Diss. / D.Grundmann. - Aachen, 1989. - 118 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.106-118

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416.002(043)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/15028)

Шифр в сводном ЭК: 508206dedaf6b899c00720c1e07ba8e4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽