Полное описание

Шокина, Д. И. Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Д. И. Шокина. - М., 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники(Техн.ун-т). Библиогр.: с.13-14(6 назв.)

	УДК
	621.315.592.002:621.78(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-3805)

Шифр в сводном ЭК: 4d489528e66632e3083c564a033c25dc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽