Полное описание

Полирование в электрическом поле с использованием явления электрофореза. Ч.2. Полирование нитрида кремния при приложении давления / ВЦП. - 18 с. : ил. - Япон.яз. - Пер.ст. Electric Field-assisted Polishing... / T. Kurobe из журн.: // Сэймицу когаку кайси. - 1988. - Vol. 54, N 9. - P. 1685-1690. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 7 назв.
ГРНТИ 61.35.29

Рубрики:
Керамические материалы и изделия нитридные

Кл.слова (ненормированные): ПОЛИРОВАНИЕ -- СИЛИКАТЫ -- ТЕХНОЛОГИЯ ОБРАБОТКИ
Доп. точки доступа:
Kurobe, T.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06924001979)

Шифр в сводном ЭК: 493d1c8ec51a58c07291709a589c0f2b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽