Полное описание

Symposium on dry process (9 ; 1987 ; Honolulu). Proceedings of the symposium on dry process, Oct. 22-23, 1987, Honolulu / Symposium on dry process (9 ; 1987 ; Honolulu) ; Ed. J. Nishizawa. - Pennington(NJ) : [s. n.], 1988. - VIII, 347 p. 347 p. : ill. - (Proceedings / Electrochem. soc. ; n88-7). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:с.335-347

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002(063)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Nishizawa, J.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Q/4195/88-7)

Шифр в сводном ЭК: 4611f9045bd0744f593c4feb455f5887

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽