Полное описание
> International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo). Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3 ; International symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication (3rd ; 1999 ; Tokyo) . - Tokyo : Шифр в сводном ЭК: 3d14958455fe387bb95e59e48a041b54
Библиогр.в конце ст. Указ.в конце кн.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76.002(063)
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Asahi, H.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/2000,Vol.39,N 7B)>
Заказ фрагмента документа ₽