Полное описание

Шанин, С. А. Моделирование формирования состава покрытия при осаждении из плазмы : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.14 / С. А. Шанин. - 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 . - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.184(043)
	621.793.74(043)

Кл.слова (ненормированные): ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- НАНЕСЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-1593)

Шифр в сводном ЭК: 38c5e2b10b6a1001acfc4ffcf5e1979b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽