Полное описание

Чулков, В. П. Моделирование технологических операций производства БИС : учеб. пособие / В.П.Чулков. - М. : [б. и.], 1994. - 73 c. : ил. - 50 экз. - ISBN 5-230-22224-7. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электроники и математики (Техн. ун-т). Библиогр.: с.70-72 (42 назв.). Опис. по обл. Без тит. л

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.001.57
47.01.77

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/24558)

Шифр в сводном ЭК: 2b193dc54b56c20a4c242991880e6caf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽