Полное описание

Афонин, Н. Н. Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния : специальность 02.00.21 "Химия твердого тела" : диссертация на соискание ученой степени д-ра хим. наук / Н. Н. Афонин. - Воронеж, 2004. - 35 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-35. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-15255)

Шифр в сводном ЭК: 29c22867704286432a602143a199290a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽