Полное описание

Шогенов, Т. К. Контактные системы, сформированные импульсной имплантацией низкоэнергетических ионов переходных металлов в кремний : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Т. К. Шогенов. - М., 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : АН СССР. Физ.-технол. ин-т. Библиогр.:с. 13-15(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-012952)

Шифр в сводном ЭК: 1af489b92b34ea69f6ba9ecc3151cace

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽