Полное описание

Harmening, M. Untersuchung zur Abformung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit grosser Strukturhohe aus elektrisch isolierenden und leitfahigen Kunststoffen / M.Harmening,W.Ehrfeld. - Karlsruhe : [s. n.], 1990. - 112 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; N4711). - Текст : непосредственный.
Рез. англ. Библиогр.: с.109-112

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Ehrfeld, W.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4711)

Шифр в сводном ЭК: 15540725daf4c70894d2ab5f7aa121cc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽