Полное описание

Методология научных исследований материалов нано- и микроэлектроники: повышение эффективности исследований : выставочные материалы / Е. А. Печерская, Ю. А. Вареник, В. А. Соловьев, Ю. В. Аношкин ; Ред. Р. М. Печерская. - Пенза : Изд-во ПГУ, 2012. - 261 с. : ил. - Библиогр.: с. 243-261 (175 назв.). - 50 экз. - ISBN 978-5-94170-491-0. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Пензен. гос. ун-т

ГРНТИ	УДК
47.09	621.384-022.532-03
	621.3.049.76-03

Рубрики:
Наноэлектронные устройства -- Материалы
Микроэлектронные приборы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Печерская, Е.А.
Вареник, Ю.А.
Соловьев, В.А.
Аношкин, Ю. В.
Печерская, Р.М.\ред.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-12/97234)

Шифр в сводном ЭК: 10ed2090ea215f337b319bbcb00d351b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽