Полное описание

Бокша, В. В. Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Бокша. - Минск, 1992. - 21 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 18-21.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-04830)

Шифр в сводном ЭК: 075ffe4cfe611fd0ea5b730dc6099d0b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽