Полное описание

International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (45th ; 2001 ; Washington(DC)). Papers from the 45th international conference, 29 May-1 Jun.2001, Washington(DC) / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (45th; 2001; Washington(DC)) ; Ed. M. McCord. - New York, NY : Inst. of physics, 2001. - 2007-3037, A21 p. A21 p. : ill. - (Journal of vacuum sciece & technology B ; 2001,Vol.19,N 6). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст. Указ.:с.2935-3037

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7(062)
47.13.33	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ЭЛЕКТРОННО-ИОННАЯ ОБРАБОТКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ
Доп. точки доступа:
McCord, M.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873/2001,Vol.19,N 6)

Шифр в сводном ЭК: 023515373ee59d9018507b735e6ef078