Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова, 2010. - 392 с. - Текст : непосредственный.
Достанко А.П. Пленочные токопроводящие системы СБИС / А.П.Достанко,В.В.Баранов,В.В.Шаталов;Под ред. Ю. Д. Чистякова, 1989. - 238 c. - Текст : непосредственный.